采用真空蒸发镀膜制作预定成分的合金薄膜的方法，经常采用的是瞬间蒸发法和双蒸发源蒸镀法。

镀膜系统一般由三个部分组成：真空室、蒸发源或蒸发加热装置、放置基板及给基板加热装置。在真空中为了蒸发待沉积的材料，需要容器来支撑或盛装蒸发物，同时需要提供蒸发热使蒸发物达到足够高的温度以产生所需的蒸汽压。一般应选择镀膜材料的温度到达蒸发温度时，蒸发源材料的蒸气压低于10-6Pa的材料做蒸发源。

东莞拉奇纳米科技有限公司，是将派瑞林(parylene)高分子材料裂解为纳米分子再进行产品表面的真空镀膜处理。使被镀物具备以下特性:无细孔、防水、防潮、耐酸碱、抗盐雾、高抗压、绝缘、生物兼容性等。真空镀中对底涂层的要求：

①对镀件与镀膜层有良好的接触性能与较高的结合力，福田聚对二甲苯，热膨胀系数相差小，不起反应，流平性能好。

②具有良好的真空性能。底涂层固化后放气量少、热应力小、耐热性能好。

③成膜性能好，涂层的致密度、覆盖能力、抗溶剂能力与耐光照能力等性能良好。

真空镀膜加工对环境的要求

基材表面污染来源于零件在加工、运输、包装过程中粘附的各种灰尘、润滑油、机油、抛光膏、油脂、汗渍等；潮湿空气中零件表面形成的氧化膜；气体在零件表面被吸收和吸附。

涂装工艺对环境的基本要求是清理涂装间内的灰尘，建立高清洁度的车间，保持涂装间的高度清洁。在空气湿度高的区域，聚对二甲苯厂，除了在电镀前仔细清洁真空室中的基板和部件外，聚对二甲苯技术，还应进行烘烤和脱气。为防止油进入真空室，应注意扩散泵的回油，对加热功率大的扩散泵应采取堵油措施。

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